Carbon 蒸着
真空引き
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液体窒素を足す、器械の中で溢れてちりちり音がするくらいが目安
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真空が安定するまで5min待つ
- 1-2 x 10^-4 程度の圧になるまでまつ
Degas
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弱い電流を流してガスを抜く、Hester のスイッチをオン。サンプルにカーボンが届かないようにカバーを掛ける
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10 A、 1min degas
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off にして真空が引けるまで待つ
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20A 20 sec degas 3回
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30A 5sec で degas 1回
- カバーを開ける。十分に真空が引けるまで待つ
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40A で 5-10 sec にして蒸着、